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发布时间:2021-11-07 06:40:08
Parylene(中文称:派瑞林、聚对,或派拉伦)是对一系列独特的高聚物的一个通常的称呼。这个家庭中基本的成员称作Parylene,即聚对,是一种完全线性的高度结晶结构的材料。
Parylene【东莞菱威】用独特的真空气相沉积工艺制备,由活性小分子在基材表面"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层,它能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边,裂缝里和内表面。这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层,厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性,是当代的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。
随着信息产业的不断发展,磁性元件越来越趋向于小型化,3-5㎜的软磁芯,2-3㎜的稀土永磁材料,甚至尺寸更小的磁材都不断被应用,对磁材的防护提出了新的要求。
小型软磁芯作饶线器件时,经聚对涂敷后能耐1500-2000V甚至更高的电压,由于聚对摩擦系数低,饶成操会更滑溜,不伤线,更便于操作,稀土钕铁硼永磁材料是一种强磁材料,但这种材料在空气中很不稳定,尺寸较大的通常用电镀或环氧电泳漆作防护涂层,尺寸较小的磁材,特别是环型和筒形的磁材,已不能用上述传统方法实现可靠防护,满足使用要求。Parylene独特的制备工艺和优异性能相结合,使它能对小型超小型磁材进行无薄弱点全涂敷的磁材可浸盐酸10天以上不腐蚀,目前国际上小型超小型磁材,几乎都采用Parylene作绝缘和防护涂层。
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
Parylene涂层除具备以上优异防护性外,还具有良好的生物兼容性、生物稳定性、优异的自润滑性、涂层均匀可控性,以及好的物理机械性能。多年来,其在航天航空、微电子、半导体、传感器、磁性材料、器械、保护等领域都有着广泛的应用,已经慢慢渗透到人们的日常生活中。
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