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发布时间:2021-12-21 09:04:53
PVD是物***相沉积的简称,是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上真空镀膜。利用物理过程实现物质转移,在工件表面形成具有特殊性能的金属或化合物涂层,其特殊性能包括强度高、耐磨性、散热性、耐腐性、以及绝缘等。涂层的物质源是固态物质,利用气体放电或加热的方式使靶材蒸发或者电离,经过“蒸发或者溅射”后,在电场的作用下,在工件表面生成与基材性能不同的固态物质涂层。
在日常的操作中,有些用户由于其操作不当导致镀膜效果欠佳的问题,在PVD真空镀膜过程中,镀膜机腔体内的压力波动将导致镀膜不均匀以及重复性欠佳。质量流量控制器控制反应气体的同时,采用压力控制器控制腔体内惰性气体的压力,从而提升终等离子气相沉积(PVD)的结果。
Parylene 具有高度惰性与高纯度特点,且介电常数和介电损失都很低,由于涂层纯度高,水汽渗透率低,无离子污染 ,因此不受潮气的影响。由于 Parylene 的固化是自动生成的,并在沉积前就完成了,因此基体不会涉及到薄膜涂层的固化应力、溶剂溶解特性及沉积温度高低的限制等问题。
方面的应用主要是涂敷Parylene以后,在产品表面形成的薄膜具有生物相容性和隔离润滑性等特性,这对导尿管、针头、骨骼假体、心脏起搏器、窥视光学镜头的生产具有重要而深刻的意义,足以引起国内行业的一场工艺革命。它对***血液没有影响,且具有抗生物腐蚀能力,已经通过美国和食品*** ( FDA) 认可,可长期植入***。
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