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发布时间:2022-01-27 20:04:25
Parylene涂层作为一种高分子复合材料,以其优异的性能和防护级别,成为各类传感器防护材料的。因Parylene涂层能耐酸碱和,对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔能力,同时,Parylene涂层很薄(几微米甚至可以做到几百纳米),对传感器的灵敏度影响很小。
Parylene涂层通过气相沉积方式在传感器表面形成一层无、均匀且致密的膜层,大大提高了在恶劣环境中的适应性和可靠性。目前已有四千万种以上的传感器用Parylene做防护涂层,可用于微波、射频、声学、压电、辐射、化学、温度等各类传感器,其中有汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物用传感器等。经Parylene封装的CMOS器件浸入海水中300天以上仍能正常工作。
物***相沉积技术指的是在真空条件下,将原材料气化成气态原子、分子或部分电离成离子,在基材表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物***相沉积技术可沉积金属膜、合金膜、陶瓷、化合物膜、聚合物膜等。
PVD技术可用于半导体领域导电薄膜的制备,例如晶圆制造过程中电极互连线膜的制备。PVD技术能以金、银、铜、铝、铬、镍和铁等金属或无机非金属材料为原料,形成纳米级别的薄膜,改变基材表面的光学特性。在光伏领域可用于减少光线反射,提高光电转换效率;在电子消费品领域可用于改变电子产品显示屏幕的分辨率、透光率。另外,PVD技术通常还用于改变基材色泽、外观,用五金件上镀上不同的颜色,做为装饰用途。
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