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发布时间:2022-07-02 08:05:32
派瑞林CVD工艺产生许多区分聚对和湿涂层的性能优势。与液体方法相比,Parylene具有显著的应用优势比浸渍,喷雾等使用方法,表面张力和重力影响会影响湿涂层方法,限制了均匀覆盖所有部件表面的能力。CVD产生均匀,无,气密且均匀的覆盖所有表面的气态聚对,包括小的角落或裂缝,尖锐的边缘或表面波纹。
Parylene保形涂层在当今的电子产品中发挥着至关重要的作用,它具有出色的缝隙和多层渗透性,的阻隔性能,低渗透性气体和湿气,抗紫外线性和极高的热稳定性。Parylene涂层越来越多地被用于提高创新和复杂技术的可靠性.因为它能够在特定条件下,在特定时期内提供可靠的保护。
派瑞林涂层特性包含抗酸碱腐蚀、耐(不溶于任何普通溶剂)。经派瑞林涂敷后的液位传感器即便在有腐蚀性的环境中工作,也能够有效的起到很好的阻隔作用,真正意义上完成对液态传感器的防腐蚀效果。
液位传感器在工作的过程中很容易挂上水珠或其他液体,这样就会影响准确的测试数据。而派瑞林涂层刚好具备疏水的效果,疏水角约92°,很好的防止水珠或其他液体挂壁。
派瑞林(Parylene)是一种具有化学惰性又有良好的生物相容性高纯涂层材料,已经通过美国FDA认可,用于各类体内植入,经它涂敷的器件可改善表面润滑型、生物相容性、提高可靠性。派瑞林(Parylene)的生物兼容性及其生物稳定性使其能够提供良好的防潮、防化学和介电保护。涂敷薄膜的摩擦系数低,因而可以应用于需要润滑的地方。
派瑞林(Parylene)是这些***组装方式的防护材料。派瑞林(Parylene)活性分子的良好穿透能力在元件内部,底部、周围形成无气隙的防护层。优良的防潮、防***和耐溶剂性能优良的介电绝缘性能、微米级的精密制作、极薄的膜层仍具极优的电性能、物理机械性能和防腐蚀功能。电子产品体积越来越小,越来越复杂,派瑞林(Parylene)共形涂敷能够提供超薄无防护来保证元件的可靠性和使用寿命。
Parylene的特性之一是它们可以形成极薄的膜层。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流击穿电压被确定与高聚物厚度有一定的关系。图3画出了相关的曲线。对于5个微米(0.0002inch)以下的薄膜,这方面的性能ParyleneC要强于ParyleneN。这些数据表明,两种Parylene材料都具有很好的绝缘性能,即使厚度小于1个微米。随着厚度的减小,单位厚度的击穿电压一般将升高。
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
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